国产一区二区三区欧美在线观看 ,亚洲国产高清在线一区二区三区,亚洲欧洲av综合色无码

技術(shù)文章您的位置：網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 > 高溫?zé)o氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹脂的固化工藝中的操作方法: 高溫?zé)o氧烤箱在低介電常數(shù)BCB樹脂的固化工藝中的操作方法

更新時(shí)間：2023-04-28 點(diǎn)擊次數(shù)：1064次

　　低介電常數(shù)BCB樹脂的固化方法，具體步驟如下：

　　1:在半導(dǎo)體芯片表面涂覆一層粘附劑;

　　2:通過旋轉(zhuǎn)方式在半導(dǎo)體芯片表面的粘附劑上涂覆一層液態(tài)BCB樹脂，接著將涂覆好BCB樹脂的半導(dǎo)體芯片放入高溫?zé)o氧烤箱中，并通入氮?dú)獗Ｗo(hù);

　　3:加熱高溫?zé)o氧烤箱，使涂覆BCB樹脂的半導(dǎo)體芯片達(dá)到一第一溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，使BCB樹脂中的溶劑分布均勻;

　　4:再將加熱無氧烤箱升高到一第二溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，使BCB樹脂中的溶劑充分揮發(fā);

　　5:再將加熱高溫?zé)o氧烤箱升高至一第三溫度，穩(wěn)定一段時(shí)間，在半導(dǎo)體芯片表面形成低介電常數(shù)的樹脂薄膜;

　　6:高溫?zé)o氧烤箱降溫至100度以下；

　　7:關(guān)氮?dú)猓〕霎a(chǎn)，完成固化工藝。

分享到：

返回列表返回頂部

上一篇 : 光刻工藝中HMDS烤箱的重要作用下一篇 : HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的基本原理

国产成人av性色在线影院色戒-色妞ww精品视频7777-亚洲精品无码成人片久久不卡-97婷婷狠狠成为人免费视频-国内精品久久久久久久久电影网