HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

更新時(shí)間：2018-05-07

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HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

HMDS，即六甲基二硅胺，是半導(dǎo)體光刻工藝中一種常見的耗材。HMDS是一種易揮發(fā)的化學(xué)品，傳送到工藝腔的HMDS是以氣態(tài)形式存在的，其均勻附著在晶圓表面，形成HMDS膜層。

HMDS烘箱結(jié)構(gòu)，HMDS涂布機(jī)原理

現(xiàn)有技術(shù)中，涂布過程一般先在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下對(duì)晶圓進(jìn)行加熱，同時(shí)通入HMDS進(jìn)行涂布，但由于前期氮?dú)獾耐ㄈ耄瑸榱吮ＷCHMDS的濃度及擴(kuò)散效果，必須增加HMDS的通入量，才能使其濃度達(dá)到一定范圍，這樣勢必造成HMDS的浪費(fèi)，且HMDS為有害氣體，過高濃度的排放會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重破壞。

HMDS烘箱，HMDS涂布機(jī)技術(shù)參數(shù)

工作室尺寸	350×350×350、450×450×450、850×850×850（mm）可自定義
材質(zhì)	外箱采用冷軋板噴塑或304不銹鋼，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼
溫度范圍	RT+10-250℃
真空度	≤133pa（1torr）
潔凈度	class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
控制儀表	人機(jī)界面
擱板層數(shù)	2層
HMDS控制	可控制HMDS藥夜添加量
真空泵	旋片式油泵（可選配進(jìn)口無油泵）
保護(hù)裝置	HMDS低液位報(bào)警，HMDS自動(dòng)添加，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)等

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