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堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

六箱體氮氣烘箱，多倉式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面：人機界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監(jiān)測功能：氧含量分析儀等

精密高溫?zé)岚澹谀ぐ婕訜崤_采用高性能電熱管加熱，升溫快，熱效率高，使用壽命更長，維護簡單；

潔凈無氧烘箱，氮氣無氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

后曝光氮氣烘箱，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導(dǎo)體，集成電路。

聚酰亞胺PI無氧烘箱，氮氣亞胺化烘箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、CPI/PBO/LCP/BCB膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。

氮氣烘箱，掩膜板烘箱在掩膜版的生產(chǎn)制造過程中，掩膜版基板在光阻涂布后會有一個烘烤的環(huán)節(jié)，又稱為前烘。