無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

產(chǎn)品型號：
廠商性質：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-16
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產(chǎn)品詳情

無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱技術參數(shù)：

用途	用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝
溫度范圍	室溫＋10℃～250℃
溫度波動度	恒溫溫度波動±0.5℃
溫度均勻度	≤±2℃
工作室尺寸（mm）	450（深）450（寬）600（高）（可自定）
潔凈度	Class100
氣體過濾	配有氣體過濾裝置，保證腔體內潔凈度為100級
隔板要求	每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成
箱體外壁材料	冷軋鋼板靜電噴塑（或SUS304）
箱體內壁材料	為不銹鋼板內壁氬弧焊（SUS316或SUS304）
保溫材料	優(yōu)質超細納米玻璃棉
氮氣接口	能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行
控制方式	人機界面+PLC控制
氮氣流量	0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,并實時監(jiān)控記錄曲線）
超溫保護	采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時，超溫保護裝置自動切斷加熱電源并進行聲光報警、控制儀采用LED顯示且可調
計時方式	溫度達到制程設定值后開始計時.
排風口	直徑114mm的排風口,且安裝有調節(jié)風閥
電氣安全保護	風機過載保護、加熱系統(tǒng)超溫保護、電磁門鎖保護、安全接地保護.
MES軟件	可連接MES系統(tǒng)
	作業(yè)時掃碼可實現(xiàn)自動調取所需作業(yè)程序,作業(yè)員只需確認是否正確
	自動記錄作業(yè)累計次數(shù)，作業(yè)批號,作業(yè)人員,作業(yè)起止日期及時間,作業(yè)溫度曲線,作業(yè)條件,可自動生成Excel報表
	有權限操作員需掃碼后才可操作此設備,且自動記錄作業(yè)人員

無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用途：

無塵烘箱用于IC生產(chǎn)過程中極為重要的光刻工藝中預烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

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無塵class100烘箱，MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導體、醫(yī)療行業(yè)高潔凈度烘烤制程工藝

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